ПІ 1.4.32-417-2005. Примірна інструкція з охорони праці при роботах на установках плазмо-хімічного витравлювання


MIHICTEPCTBO ПРОМИСЛОВОЇ ПОЛІТИКИ УКРАЇНИ

ПРИМІРНА ШСТРУКЩЯ

З ОХОРОНИ ПРАЦІ

ПРИ РОБОТАХ НА УСТАНОВКАХ

ПЛАЗМО-ХІМІЧНОГО ВИТРАВЛЮВАННЯ

Київ 2005

ПОГОДЖЕНОЗАТВЕРДЖЕНО

Національний науково –Наказ Мінпромполітики

дослідний інститут охорони праціУкраїни

Аркуш погодження19серпня 2005 р. №312

02 вересня 2003 р. № 506

ПІ 1.4.32-417-2005

ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ

З ОХОРОНИ ПРАЦІ

ПРИ РОБОТАХ НА УСТАНОВКАХ

ПЛАЗМО-ХІМІЧНОГО ВИТРАВЛЮВАННЯ

Київ 2005

Розроблено i внесеноДержавним підприємством «Науково-дослідний інститут мікроприладів (ДП «НДІМГГ»)» Національної академії наук України

ВведеноВперше

© Національний НДІ охорони праці

© ДП «НДІМП»

© ФСС від нещасних випадків на

виробництві та професійних

захворювань України

© Мінпромполітики України

1 ЗАГАЛЬНІ ПОЛОЖЕННЯ

1.1 Ця примірна інструкція встановлює загальні вимоги безпеки для робітників, котрі забезпечують підготовку установок плазмохімічного витравлювання типу дЕМ 3.240.084 до роботи та проводять на них технологічні процеси плазмохімічного травлення в плазмі високочастотного розряду. Бона може бути використана як основа для розробки інструкцій, які діють на підприємствах усіх форм власності в галузях мікроелектроніки, радіоелектроніки та приладобудування.

1.2 Роботи на установках плазмохімічного витравлювання відносяться до робіт із шкідливими речовинами та підвищеною небезпекою відповідно до НПАОП 0.00-8.24-05 «Перелік робіт з підвищеною небезпекою», затвердженого наказом Державного комітету України з нагляду за охороною праці від 26.01.05 № 15.

  1. Згідно зі ст. 11 Закону України «Про охорону праці» (далі - Закон) не допускається залучення неповнолітніх до праці на важких роботах із шкідливими або небезпечними умовами праці.
  2. До самостійного виконання робіт допускаються особи:

котрі пройшли медичний огляд у встановленому порядку згідно з ДНАОП 0.03-4.02-94 «Положення про медичний огляд працівників певних категорій», затвердженого наказом Міністерства охорони здоров'я України від 31.03.94 № 45 та не мають медичних протипоказань;

з якими проведено інструктаж (навчання) з охорони праці, у тому числі при виконанні робіт з підвищеною небезпекою, ознайомлення з правилами поведінки при виникненні аварій і наданням першої допомоги потерпілим від нещасних випадків;

котрі пройшли професійний добір і склали іспити на право: працювати з газами, агресивними та легкозаймистими хімічними речовинами, експлуатації посудин під тиском, технічної експлуатації обладнання з ВЧ випромінюванням та електрообладнання споживачів напругою понад 1000 В і мають групу електробезпеки, не нижчу ІІІ-ої (оперативний працівник, керівник робіт, інженер-технолог або старший групи - не нижчу IV-ої);

з котрими проведено вступний інструктаж та інструктаж на робочому місці з записом у журналі інструктажу.

1.5 Робітники, котрі виконують роботи на установках плазмохімічного витравлювання, повинні:

знати та виконувати вимоги нормативних актів з охорони праці (правил, стандартів, норм, положень, інструкцій);

знати та дотримуватися вимог правил поведінки з устаткуванням та іншими засобами виробництва;

користуватися засобами колективного й індивідуального захисту;

виконувати вимоги і зобов'язання з охорони праці, передбачені Законом, колективним договором, угодою, трудовим договором та правилами внутрішнього трудового розпорядку підприємства (установи), у тому числі:

а)вчасно починати та закінчувати роботу, дотримуватися встановленого часу технологічної та обідньої перерв;

б)не виконувати робіт, не передбачених змінним завданням, технологічним процесом або інструкцією;

в)не перебувати на роботі в позаробочий час без відповідного дозволу керівника;

проходити в установленому порядку попередні та періодичні медичні огляди;

співпрацювати з власником стосовно організації безпечних і нешкідливих умов праці, особисто вживати посильних заходів щодо усунення будь-якої виробничої ситуації, яка створює загрозу життю чи здоров'ю робітника або людей, котрі його оточують, і навколишньому середовищу (ст. 159 Кодексу Законів про працю України (КзпПУ));

повідомляти про небезпеку свого безпосереднього керівника чи іншу посадову особу (ст. 159 КЗпПУ).

3

  1. У приміщенні, де розміщене робоче місце, повинно знаходитися не менше двох працівників.
  2. Працівники не повинні залишати робоче місце без нагляду.

1.8 При виконанні робіт на установках плазмохімічного витравлювання можуть мати місце такі небезпечні та шкідливі чинники:

а)фізичні:

ураження електричним струмом високої частоти і напруги; опромінення електромагнітним полем, яке виникає при використанні змінних струмів з частотою вище 10 МГц (неіонізуюче); ураження від посудин під тиском; підвищення або зниження температури робочої зони; отримання термічних опіків;

б)хімічні:

отримання хімічних опіків;

отруєння;

токсична та подразнююча дії на організм людини (шкірний покрив, слизові оболонки очей та органи дихання), а також уражаюча дія робочих газів, рідин і газоподібних продуктів внаслідок хімічних реакцій (головний і спинний мозки, нервова та серцева системи).

1.9 Для виконання робіт у шкідливих і небезпечних умовах праці згідно зі ст.8 Закону робітникам видаються безоплатно за встановленими нормами спеціальний одяг, спеціальне взуття, інші засоби індивідуального захисту і мийні засоби:

халат лавсановий (білий або світлих тонів), ГОСТ 12.4.103-83;

ковпак (шапочка, косинка) лавсановий (білий або світлих тонів), ГОСТ 12.4.011-89;

взуття шкіряне (тапочки), ГОСТ 12.4.137-2001;

рукавички хірургічні гумові, ГОСТ 3-88;

рукавички гумові діелектричні, ТУ 38-105-504-72;

окуляри захисні ОРЗ-5, МРТУ 42-2717-67;

килимок діелектричний гумовий, ГОСТ 4997-75;

окуляри захисні, ГОСТ 12.4.013-85;

респіратор РПГ-67, ГОСТ 12.4.004-74;

протигаз фільтруючий згідно з ГОСТ 12.4.121-83;

коробки фільтруючі марки "М", ГОСТ 12.4.122-83;

мило туалетне, ГОСТ 28546-90.

1.10 Робітники, котрі здійснюють підготовку та виконують технологічні процеси на установках плазмохімічного витравлювання, повинні дотримуватися таких вимог санітарних норм та особистої гігієни:

розпочинати роботу тільки у засобах індивідуального захисту;

утримувати протягом зміни робоче місце в чистоті й порядку;

їсти та зберігати їжу тільки в спеціально відведених місцях;

зберігати харчові продукти, у тому числі й молочні, які видаються на підприємстві, у холодильниках, які використовуються тільки з цією метою;

перед тим, як вийти на технологічну перерву (для відпочинку, паління або з інших причин), необхідно вимити з милом руки, обличчя та прополоскати ротову порожнину питною водою;

після закінчення роботи вимити з милом забруднені частини тіла або прийняти душ, прополоскати ротову порожнину питною водою.

1.11 Працюючі робітники повинні дотримуватися вимог правил пожежної безпеки, знати місця розташування засобів пожежогасіння, порядок їх використання та вміти ними користуватися відповідно до інструкції з пожежної безпеки.

1.12 При проведенні технологічних процесів на установках плазмохімічного витравлювання необхідно враховувати властивості нижченаведених технологічних газів і рідин, продуктів хімічних реакцій та їх небезпечних чинників.

4

1.12.1 Хладон-14 (CF4) (Хладон-14. ТУ 6-02-922-79. Технические условия).

Використовується в газоподібному або зрідженому стані з вмістом основної речовини 98,5 %.

У нормальних умовах - безбарвний хімічно інертний газ, що не горить, не вибухає, малотоксичні. При температурі до 1000°С є стабільною речовиною, при температурі вище 1000° С розкладеться з утворенням токсичних сполук.

Токсичність обумовлена присутністю домішок окису вуглецю з мікродомішками «кислих» з'єднань фтору.

При нормальних умовах і великих концентраціях діє як наркотик, спричиняє ядуху, набряк легенів.

Балони, наповнені хладоном-14, становлять небезпеку як посудини, що працюють під тиском.

ГДК парів у робочій зоні 3000 мг/м .

Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.2 Хладон-23 (CHF4 ) (Хладон-23. ТУ 6-02-1321-85. Технические условия).

Використовується в зрідженому стані. У нормальних умовах - безбарвний газ, що не горить, не вибухає, малотоксичний, без запаху. При температурі вище 400° С розкладається з утворенням високотоксичних сполук.

Балони, наповнені хладоном-23, становлять собою небезпеку як посудини, що працюють під тиском.

ГДК парів в робочій зоні 3000 мг/м3.

Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.3 Кисень (02) (ГОСТ 5583-78 (ИСО 2046-73). Кислород газообразный технический и медицинский. Технические условия).

Безбарвний газ без запаху та смаку.

Температура кипіння кисню -мінус 182,97° С.

Густина газу -1,43 кг/м .

Кисень не горить, але підтримує горіння. При контакті з маслами та жирами вибухає.

1.12.4Азот (1Ч2) (ГОСТ 9293-74 (ИСО 2435-73). Азот газообразный и жидкий. Технические условия).

Безбарвний газ без запаху та смаку.

Температура кипіння азоту -мінус 195,8° С.

Густина газу -1,25 кг/м3.

Відносна густина (за повітрям) -0,97.

Азот не отруйний газ, але наявність його в повітрі понад 84 % спричиняє ядуху.

1.12.5 Спирт етиловий (С2Н5ОН) (ГОСТ 17299-78. Спирт этиловый технический. Технические условия).

Прозора безбарвна рідина без нерозчинних домішок, легкозаймиста з характерним запахом. Добре розчинна у воді, бензині та бензолі.

Густина -0,789 г/см3

Температура плавлення -114°С

Температура кипіння -+78,3°С

Концентраційні межі самозаймання парів суміші з повітрям 3,6-19,0% (за об'ємом).

Температура межі розповсюдження полум'я:

нижня - +11°С

верхня - +41°С

Етиловий спирт відноситься до вибухонебезпечних, легкозаймистих речовин.

ГДК парів у повітрі робочої зони 1000 мг/м3.

Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

Етиловий спирт - наркотик, що спричиняє спершу збудження, а потім параліч нервової системи.

5

1.12.6 Продукти хімічних реакцій:

1.12.6.1 Фтористий водень (HF) - безбарвний газ без запаху при малих концентраціях і з кислим запахом при великих концентраціях, густиною 0,9 г/л, добре розчиняється у воді, не гідролізується, інтенсивно реагує з більшістю елементів та їх окислів, руйнує скло та фарфор, слабо діє на свинець і мідь. Високотоксичний, подразнює верхні дихальні шляхи, слизові оболонки очей і носу, вражає серцево-судинну систему, легені, печінку, руйнує зуби. Ознакою витікання газу є характерний кислий запах у повітрі. В екологічному відношенні дуже небезпечний через високу токсичність.

ГДК у повітрі робочої зони виробничих приміщень 0,1 мг/м3.

Клас небезпеки 1 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.2 Кремній чотири-фтористий або фторид кремнію (SiF4) –

безбарвний газ з різким ядучим запахом, густиною 4,6 г/л, термічно стійкий. У водних розчинах гідролізується з утворенням фтороводню HF і кремнефтористоводневої кислоти H2SiF6.

За силою кремнефтористоводнева кислота наближається до сірчаної. її солі - кремнефториди або фторосилікати здебільшого розчиняються у воді. Сама кислота та всі фторосилікати отруйні.

Кремній чотири-фтористий у Бологому повітрі створює густу хмарку, в присутності вологи хімічна активність аналогічна фтористому водню. В екологічному відношенні дуже небезпечний через високу токсичність і створення в атмосфері фтористоводневої кислоти. Ознакою витікання газу є характерний запах і створення білої димної хмарки. Він подразнює верхні дихальні шляхи, слизові оболонки очей і носа, вражає серцево-судинну систему, легені, печінку, руйнує зуби.

ГДК у повітрі робочої зони 0,1 мг/м3.

Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.3 Фторфосген (карбоніл фтористий) COF2 - безбарвний газ з густиною 1,139 г/л, у зрідженому стані розчинний у воді, в етанолі з розкладенням. Токсичний, спричиняє подразнення слизових оболонок очей і носа, верхніх дихальних шляхів і легенів.

ГДК у повітрі робочої зони 0,5 мг/ м3.

Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.4 Оксид або окис вуглецю (СО) - безбарвний, дуже отруйний газ. Особливо небезпечний тим, що не має запаху, отруєння ним може статися непомітно. Отруйна дія оксиду вуглецю відома під назвою чаду. Він добре горить голубуватим полум'ям з виділенням великої кількості тепла, перетворюючись в СО2. На сонячному світлі або за наявності активованого вугілля (каталізатор) оксид вуглецю безпосередньо сполучається з хлором, утворюючи небезпечний газ - фосген (СОСl2 ).

Оксид вуглецю конденсується в piдину лише при мінус 192° С і твердне при мінус 205° С. У воді він розчиняється мало та не вступає з нею в хімічну взаємодію.

Отруйна дія оксиду вуглецю пояснюється тим, що він легко сполучається з гемоглобіном крові та робить його нездатним переносити кисень від легень до тканин. СО викликає відчуття тяжкості та сильний головний біль, запаморочення, шум у вухах, почервоніння обличчя, лихоманку, відчуття слабкості та страху, нудоту. При тривалій дії - сонливість, заціпеніння, а також уражає центральну нервову систему.